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  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • 由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
  • MIKASA米卡薩旋轉(zhuǎn)涂膜儀MS-B200（密封）
  • 使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
  • 使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
  • 旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
  • 光刻.com從旋涂機（涂布機）到掩模對準器（曝光裝置），以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實驗室機器。 此外，作為測量，我們還處理各種測量機，用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。
  • 旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
  • 旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
  • 旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
  • 支持擺動噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進行編程輸入， 操作簡單*多可擴充至 3 種藥液 連續(xù)進行藥液、沖洗、排液處理 內(nèi)置藥液壓力推送泵
  • 支持擺動噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進行編程輸入， 操作簡單*多可擴充至 3 種藥液 連續(xù)進行藥液、沖洗、排液處理 內(nèi)置藥液壓力推送泵
  • 支持擺動噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進行編程輸入， 操作簡單*多可擴充至 3 種藥液 連續(xù)進行藥液、沖洗、排液處理 內(nèi)置藥液壓力推送泵
  • ■ 手動操作、接觸式對準曝光機。 ■ 依照不同需求以及成本考量?有準直儀型?多面鏡型?整合（積算器）型三種曝光光源。 ■ 有可對應5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機種。 ■ Mask Holder?載臺的更換作業(yè)簡單易行，可在1分鐘內(nèi)完成，適合用于研究開發(fā)。 ■ 對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。
  • ■ 特點 ■ 手動操作、接觸式對準曝光機。 ■ 依照不同需求以及成本考量?有準直儀型?多面鏡型?整合（積算器）型三種曝光光源。 ■ 有可對應5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機種。 ■ Mask Holder?載臺的更換作業(yè)簡單易行，可在1分鐘內(nèi)完成，適合用于研究開發(fā)。 ■ 對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。
  • 日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 - SpinCoater -MS-B150 系列 ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達旋轉(zhuǎn)數(shù)的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
  • 日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 - SpinCoater -MS-B100 系列 ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達旋轉(zhuǎn)數(shù)的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
  • 代理日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機MS-B100
  • ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達旋轉(zhuǎn)數(shù)的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）
  • ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達旋轉(zhuǎn)數(shù)的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）

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